阻挡材料对射频容性耦合等离子体放电参量的影响

• 作者: 王学禹 吴勤斌 罗日成 肖宏峰 田迪凯 张宇飞
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: 射频源 容性耦合等离子体 阻挡材料 介电常数
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 613-618
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202006044

摘要

为进一步探索射频容性耦合等离子体放电影响因素,本文运用数值仿真技术,构建了容性耦合等离子体的一维发射装置,施加射频源,仿真气体设定为氦气,极板间距恒定75 mm,研究了插入阻挡材料厚度、介电常数对极板间周期平均电子密度、周期平均电子温度及周期平均电势的影响.仿真结果显示:插入阻挡材料的介电常数越大,气体间隙中间的周期平均电子密度最大值越大,高电子密度区域的周期平均电势最大值越小,阻挡材料附近的周期平均电子温度极大值越加,但气体中间极小值基本不变;周期平均电子密度最大值随阻挡材料厚度的增加先增后减,阻挡材料厚度具有最优值,且随着介电常数增大,最优值增加;周期平均电势最大值及阻挡材料与气体边界处的周期平均电势值虽都与阻挡材料厚度呈正比,但两者差值随阻挡材料厚度增加近似不变.所得结论对改进传统的射频容性耦合等离子体获取具有重要意义.