物理气相沉积薄膜超级电容器

• 作者: 张银团 张腾飞 王启民
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: 物理气相沉积 薄膜 超级电容器 柔性电极
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 648-658
• 页数: 11页
• 分类号: TB34
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202006043

摘要

超级电容器作为一种可以快速充放电的储能器件,在电动汽车、微储能电子器件、航空航天等领域有广泛的应用前景.金属氮/氧化物薄膜电极具有优良的电化学性能以及稳定的机械性能,使其成为一种极具发展潜力的超级电容器电极材料.物理气相沉积(PVD)制备的薄膜具有成分结构易调控,膜层与基体结合力好,且可规模化生产等优点,可应用在超级电容器领域,特别是柔性薄膜超电电极的制备.本文论述了 PVD在制备氮/氧化物薄膜电极方面的研究进展,并详细探讨了通过PVD制备的金属氮氧化物以及多元金属氮化物薄膜电极的可行性以及PVD柔性薄膜电极的发展前景.