电涡流传感器探头的结构优化

• 作者: 宋冠儒 刘冲 李经民 赵王昱斐
• 来源期刊: 机电技术
• 关键词: 电涡流传感器 阵列探头 MEMS 电感计算
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 能源技术与电工电气
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TM55
• 语种: 中文
• DOI: 10.19508/j.cnki.1672-4801.2021.04.018

摘要

探头是阵列式电涡流传感器的重要组成部分,探头单元的电参数直接影响传感器性能.文章通过建立探头单元简化的等效电路模型,探究了探头结构参数对电感、电阻、品质因数Q和自谐振频率等电参数的影响,并优化了探头的结构参数,为涡流阵列传感器探头单元的优化设计提供了一种更为快速的计算方法和实现途径.