一种基于模态局域化的MEMS电场传感器设计与分析

• 作者: 修日 杨鹏飞 毋正伟 任仁 郑凤杰 彭春荣
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 关键词: 电场传感器 MEMS 模态局域化 三自由度 静电耦合 灵敏度 分辨力
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器技术|Sensor Technology
• 页码范围: 32-35,46
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2021.02.007

摘要

为提高传感器的灵敏度和分辨力,设计了一种灵敏度可调节的基于模态局域化效应的谐振式MEMS电场传感器敏感结构.传感器敏感结构采用静电耦合的三自由度谐振器微结构方案,并可实现灵敏度调节,从而获得最佳灵敏度.通过理论计算和有限元仿真计算,分析了传感器的模态局域化敏感机理,确定了传感器幅频特性、灵敏度、分辨力等关键特性.计算结果表明满足设计目标.