基于Smith变论域模糊自适应PID蒸发源温度控制

• 作者: 贺自名 牛江川 张静
• 来源期刊: 控制工程
• 关键词: 电阻加热式真空镀膜 模型辨识 差分进化算法 变论域模糊自适应PID 分段控制
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 工业过程及控制系统
• 页码范围: 1308-1314
• 页数: 7页
• 分类号: TP13
• 语种: 中文
• DOI: 10.14107/j.cnki.kzgc.20190575

摘要

在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制.针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法.基于改进的差分进化算法辨识真空镀膜温控系统的传递函数,结合变论域模糊自适应PID算法和比例控制构成分段控制模型.最后利用MATLAB进行仿真验证,结果表明,相较于Smith预估控制和模糊自适应PID控制算法,改进后的算法具有调节时间短、超调量几乎为零、无稳态误差等特点,对电阻加热式真空镀膜温控系统具有较好的自适应能力.