芯片表面气泡瑕疵检测方法

• 作者: 郑安义 曾祥进
• 来源期刊: 计算机应用
• 关键词: 芯片表面 气泡瑕疵 光照补偿 特征提取 线性融合 最大熵分割
• 年，卷（期）: 2021,（z1）
• 所属期刊栏目: 多媒体计算与计算机仿真|Multimedia computing and computer simulation
• 页码范围: 255-258
• 页数: 4页
• 分类号: TP399
• 语种: 中文
• DOI: 10.11772/j.issn.1001-9081.2020071044

摘要

为解决芯片工业生产过程的瑕疵检测问题,提出了一种快速准确的瑕疵检测方法.针对图像采集过程中光照不均匀问题,给出了一种基于均值切块的快速光照补偿方法;另外,为了进行气泡瑕疵的特征提取,给出了一种简单的线性图像融合方法;最后,利用最大熵分割方法分割融合图像,并对瑕疵点进行分割和标记.实验结果表明,在小幅度改变原图像的基础上,所提方法检测速度快,准确率较高,能够满足工业生产需求.