涡轮叶片上Al2O3薄膜的高温绝缘性能研究

• 作者: 崔成成 蒋书文 张万里
• 来源期刊: 信息记录材料
• 关键词: Al2O3薄膜 绝缘电阻 XRD SEM
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 材料:实验与研究
• 页码范围: 23-24
• 页数: 2页
• 分类号: TQ320.72
• 语种: 中文

摘要

为了满足热电阻对涡轮叶片准确测温的要求,需要将叶片表面与热电阻进行高温绝缘.采用电子束蒸发的方法制备了不同层结构的氧化铝薄膜.然后利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了样品微观结构,并测试了其高温绝缘性能.结果表明:随着薄膜层数的增加,其结晶性能逐渐增强,截面结均匀性以及致密性逐渐增强,高温绝缘电阻显著增大.发现三层结构的氧化铝薄膜绝缘层通过600℃退火200min热处理后,在800℃左右温度下的绝缘电阻超过了43kΩ,满足了热电阻在高温环境下的电学绝缘要求,从而保证了涡轮叶片表面的准确测温.