微波真空电子器件用无氧铜材料的蒸发特性

• 作者: 李芬 王国建 田宏 刘泳良 于艳春 吕薇 刘燕文
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 关键词: 微波真空电子器件 无氧铜 蒸发 酸洗 烧氢
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 雷达、电磁场与电磁波|Radar, Electromagnetic Field and Electromagnetic Wave
• 页码范围: 2751-2756
• 页数: 6页
• 分类号: TB741
• 语种: 中文
• DOI: 10.11999/JEIT200846

摘要

作为微波真空电子器件的常用材料之一,无氧铜材料的蒸发特性会对微波真空电子器件的电性能产生影响.该文利用超高真空测试设备,研究了处理工艺对无氧铜材料的蒸发性能的影响,采用X射线测厚仪测试了蒸发的铜膜厚度,用扫描电镜(SEM)观测了无氧铜材料的表面形貌.结果表明表面宏观形貌粗糙度对无氧铜材料的蒸发性能影响不大,但处理工艺对蒸发性能影响很大;无氧铜材料经过酸洗后,会大大增加蒸发量;无氧铜材料经过烧氢处理,可降低蒸发量,而经过去油清洗并烧氢处理的无氧铜的蒸发量极低.对无氧铜材料进行了表面分析,发现无氧铜材料的真空蒸发性能与材料的表面形貌状态有关,当表面微观形貌比较光滑、无孔洞等缺陷时,无氧铜材料的真空蒸发量就少.