MEMS传感器的发展趋势及其应用

• 作者: 潘俊花
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 37-38
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

MEMS传感器是一种新型的传感器技术,是多学科领域交叉的前沿科技技术.本文主要研究MEMS传感器国内及国外的发展现状和趋势以及主要的应用领域. MEMS突出的优点是利用微电子技术把传感器、执行器和处理电路这三部分集成在一起,组成单片集成传感器或系统,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造,已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域,并成为国际竞争的战略制高点.