短波红外探测器的发展与应用(特邀)

• 作者: 马旭 李云雪 黄润宇 叶海峰 侯泽鹏 史衍丽
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 短波红外 红外探测器 InGaAs 胶体量子点 Ⅱ类超晶格 硅基短波红外探测器
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 红外技术及应用|Infrared technology and application
• 页码范围: 127-138
• 页数: 12页
• 分类号: TN215
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/IRLA20210897

摘要

短波红外波段作为"大气透过窗口"之一,探测器工作在该波段能获得目标更多的辐射能量.另外,短波红外对近室温目标的探测成像类似于可见光的反射式成像,一方面拥有中长波红外探测缺少的细节分辨能力,另一方面具有穿透烟雾进行成像等可见光探测不具备的能力.随着短波红外探测器在军事、民用领域的广泛应用,对短波红外探测器的性能、成本提出了更高的要求,InGaAs探测器由于高达约70％90％的量子效率、室温下约8000 cm2/(V·s)的高迁移率,以及高灵敏度、高速响应、低成本的应用优势,是目前短波红外探测器的最佳选择.为了进一步扩展波长、提高分辨率、降低成本,发展了基于Ⅱ类超晶格、胶体量子点、硅基材料等新材料和新工艺的短波红外探测器.文中对美国、法国、以色列、中国等国内外短波红外探测器的发展现状进行了归纳整理,对有关短波红外探测器的新材料和新工艺进行了报道,最后探讨分析了短波红外探测器的未来发展趋势.