光电-静电复合驱动器的驱动性能

• 作者: 吕振 王新杰 刘亚风 赵勇筌
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: PLZT陶瓷 光电-静电 闭环控制 倾斜下电极 驱动器
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 能源工程、机械工程|Energy Engineering, Mechanical Engineering
• 页码范围: 178-185
• 页数: 8页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2022.01.020

摘要

基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性能.构建光照和光停阶段光电-静电复合驱动器的数学模型,对所构建的光生电压数学模型进行参数识别.建立光电-静电复合驱动器输出位移的闭环控制模型,对不同辐射照度下具有不同倾斜角下电极的驱动器进行位移闭环控制仿真分析.结果表明,当目标位移和辐射照度一致时,具有倾斜下电极结构的光电-静电复合驱动器输出位移的响应时间约为平行下电极结构的45％.光电-静电复合驱动器输出位移的响应时间与辐射照度和下电极倾斜角成正相关变化,输出位移的控制精度与辐射照度和下电极倾斜角成反相关变化.