离子能量筛选器仿真设计

• 作者: 张骏林 苏俊宏 郭亮 李建超 万文博
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子源 离子能量 筛选器 离子束辅助沉积 有限元仿真
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件|Material and Devices
• 页码范围: 108-114
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文

摘要

离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能.针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高和过低能量的离子,偏离中心离子能量负100eV的筛选率,已达到82.24％,在光学薄膜制备领域中具有良好的应用前景.