X射线柱面反射镜的非零位干涉测量

• 作者: 邓婷 刘锋伟 覃蝶 徐燕 吴永前 陈强
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线光学 X射线镜 面形检测 回程误差 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: X射线光学|X-Ray Optics
• 页码范围: 229-236
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202242.0434001

摘要

针对拼接干涉测量技术除了引入拼接误差,还将引入机械运动误差的问题,为此提出一种X射线反射镜的非零位干涉测量方法,无需拼接便可实现零回程误差的高精度干涉测量.利用一块高精度平面镜来标定干涉系统在全视场范围内的回程误差.通过将待测非球面镜划分成多个子孔径,每个子孔径可近似看作一个平面,这样可以从标定数据库中找到该子孔径所对应的回程误差,通过简单的矩阵拼接可得到整个待测非球面镜的回程误差.以X射线椭圆柱面反射镜为例进行实验,实现X射线椭圆柱面反射镜非零位干涉测量面形的回程误差有效标定,相比于拼接干涉测量方法二者结果一致性较好,证实所提方法的正确性.