基于扫描电镜-能谱仪的矿物定量分析 ——以 AMICS 为例

• 作者: 邓刘敏 葛祥坤 范光 李婷 于阿朋 王涛
• 来源期刊: 世界核地质科学
• 关键词: 扫描电镜-能谱仪； 矿物自动定量分析系统； 分析测试条件； 定量准确性
• 年，卷（期）: 2023,（1）
• 页码范围: 108-115
• 页数: 7页
• 分类号: P575
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0636.2023.01.010

摘要

近年来，矿物自动定量分析系统被广泛应用于矿业、冶金、石油和地质等领域。该系统以扫描电镜-能谱仪 （SEM-EDS） 为基础，具有高放大倍数、高分辨率、高效和无损等优点，适用于矿石样品选冶和元素赋存状态等方面的研究，对优化选矿工艺流程，提高矿石元素利用率，深入认识元素赋存机制等具有重要意义。目前，基于此类定量分析系统的应用研究居多，而对其定量结果的准确性相关研究较少。以 AMICS 系统为例，对自制的已知含量的矿物组合样品进行了定量分析测试，探究了其最佳分析测试条件，同时对定量结果的准确性进行了分析，结果表明：AMICS 系统最佳定量分析条件为电压 20 kV、工作距离 10 mm、束流 5 nA，单点 X-ray 采集时间 8 ms；其次，样品中不同种类、不同含量矿物的定量结果与参考值较为一致，相对误差小，定量结果可信度高，表明该系统适用于岩矿样品的高效、高质量的定量分析，对微细粒、低含量的矿物研究有着重要意义。