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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
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总被引数（次）
16974
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  • 1. AlGaN/GaN界面特性研究进展
    作者： 张金凤 郝跃
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  1-7
    摘要： GaN是一种宽禁带半导体材料,由于具有优越的热稳定性和化学稳定性,使这种材料和与其相关的器件可以工作在高温和恶劣的环境中,并可用于大功率微波器件.本文主要介绍AlGaN/GaN有关界面特性,...
  • 2. 一种基于碳纳米管的随机存储器
    作者： 孙劲鹏 王太宏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  8-13,26
    摘要： 随着传统存储器集成度的不断提高,每个存储单元的电子数目不断减少,并逐渐接近其极限.为了解决传统存储器件发展遇到的困难,利用碳纳米管之间范德瓦耳斯力,设计了一种基于碳纳米管的可读写的随机存储器...
  • 3. 一种新型分析芯片的发展及其应用
    作者： 刘之景 秦成明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  14-17
    摘要： 指出微全分析系统已成为国际关注的焦点,它正向着微型化、集成化、便携化、自动化方向发展.它使许多不连续的分析过程连续化和自动化,完成实时及在位分析,实现高效率、快速度、少耗样、低成本、无污染、...
  • 4. 银纳米线在Si(5 5 1 2)表面上自组装
    作者： 全武贤 张晋 徐载明 曹祥熙 朱永哲
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  18-22
    摘要： 由于银不会在硅表面与硅形成任何硅化物,银线成为在具有排状结构的Si(5 5 12)表面自组装纳米线的候选材料.本研究试用不同的银覆盖度和退火温度制作高纵横比的银纳米线.当覆盖度为0.1单原子...
  • 5. SiO2包覆纳米TiO2的初步探讨
    作者： 孙秀果 林玉龙 贾振斌 魏雨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  23-26
    摘要： 为了改善纳米TiO2的分散性,利用表面包覆技术,在TiO2的表面形成致密的SiO2膜,以达到改性的目的.讨论了SiO2包覆纳米TiO2的作用、机理和包覆工艺条件,并对包覆后的TiO2通过透射...
  • 6. 数字微镜纳米接触粘着力研究
    作者： 田文超 贾建援
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  27-30
    摘要： 针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型.根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones势理论,用连续方法推导出弹性片...
  • 7. MEMS开关的失效模式及机理的分析
    作者： 胡小东
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  31-34,44
    摘要： 主要探讨了微电子机械系统中普遍存在的失效模式及机理,对几种没有明确对应模式的失效机理也做了介绍.最后针对一种具体的微机械开关器件,研究了它的可靠性问题,给出了相应的可靠性提高措施.该微机械开...
  • 8. Raphael-深亚微米集成互连参数仿真优化系统
    作者： 李惠军 赵攀岭 陈慧凯
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  35-39
    摘要： 针对超深亚微米层次下的金属互连设计,使用Raphael(集成布线互连)仿真系统完成了互连寄生效应参数的提取.介绍了Raphael仿真系统的主要功能及基本应用,并分析了常规集成布线互连参数模型...
  • 9. 底面对准曝光机对准系统设计
    作者： 严伟 姚汉明 王肇志 胡松
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  40-44
    摘要： 微电子技术的不断发展,对光刻设备精度的要求越来越高,特别是在一些特殊器件的制作领域,要求基片多次曝光后必须达到较高的套刻精度.目前国内外有多种比较成熟的对准技术来满足这一要求,其中底面对准技...
  • 10. 国内研究新进展
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  45-46
    摘要：
  • 11. 美、俄纳米技术新工艺
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年10期
    页码:  46
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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