数字微镜纳米接触粘着力研究

• 作者: 田文超 贾建援
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微电子机械 纳米接触 数字微镜 粘着力 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: O343
• 字数: 2324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.10.006

摘要

针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型.根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones势理论,用连续方法推导出弹性片同基底之间粘着力的力学模型,并得到数值结果.仿真出粘着力同接触间距以及弹性变形的关系,数值结果和仿真结果同相关实验一致,从而得出粘着力在微电子机械中不可忽略的结论,为纳米碰撞及纳米摩擦、纳米接触的进一步研究提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0