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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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  • 1. 分子尺寸器件与单分子器件
    作者： 华中一
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  1-8
    摘要： 未来的计算机可以小到什么程度?迄今无人可以做详尽的回答.但毫无疑问,硅基集成电路由于光刻技术的限制和生产成本随尺寸变小作指数增长,将很快达到它的极限(最小线宽100nm).目前国际上已提出未...
  • 2. 单电子晶体管及其SPM加工方法
    作者： 刘庆纲 胡小唐 郑丽芬
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  9-12
    摘要： 在电子技术领域,高度集成化是人们不断追求的目标,纳米电子器件迎合了人们的这种需要,将逐步取代微电子器件成为芯片的主要单元.单电子器件以其高效、高功能、高速、低耗(可在常温下工作)、高集成化及...
  • 3. 共振隧穿二极管的设计和研制
    作者： 梁惠来 牛萍娟 王振坤 赵振波 辛春艳 郭维廉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  13-16
    摘要： 用分子束外延在半绝缘砷化镓上生长两垒一阱结构,制成RTD单管.经过材料生长设计、工艺设计和版图设计几方面的改进,测得最高振荡频率已达54 GHz.
  • 4. 激光定域晶化技术制备纳米硅的研究
    作者： 朱乐仪 李伟 王晓伟 王立 陈坤基 马忠元 黄信凡
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  17-20
    摘要： 利用相移光栅模板使KrF准分子激光形成强度周期分布的激光束,定域晶化a-Si:H(4 nm)/a-SiNx:H(10 nm)多层膜中的超薄a-Si:H层,成功地制备出了三维有序分布的nc-S...
  • 5. a-Si:H热处理过程中纳米硅粒尺寸的控制
    作者： 薛清 郁伟中 黄远明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  21-26
    摘要： 报道了控制热处理过程中含氢非晶硅中纳米硅颗粒大小的一种新方法.用喇曼散射、X射线衍射和计算机模拟,发现在非晶硅中所形成的纳米硅颗粒的大小,随着热退火过程中升温速率的变化而变化.在退火过程中,...
  • 6. 大位移、低电压驱动MEM5静电梳齿驱动器的设计与研究
    作者： 李海军 杨拥军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  27-30
    摘要： 分析了MEMS静电梳齿驱动工作原理,以梳齿结构和弹性梁结构为基础,综合考虑了动态特性、可靠性以及加工工艺可行性要求.提出了非等高结构、变形曲臂梁结构、位移放大驱动器、垂直Z向位移静电梳齿驱动...
  • 7. MEMS开关辐照实验研究
    作者： 邹学锋 顾卫东
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  31-34
    摘要： 进行了MEMS开关的辐照试验,并对结果进行了分析.所述的MEMS开关采用单晶硅悬臂梁结构实现金属电极接触,工作电压小于50V,最大工作频率大于10kHz.进行了中子辐照和γ辐照实验,其中中子...
  • 8. 生物芯片扫描仪弱信号检测方法
    作者： 唐小萍 罗正全 马平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  35-38
    摘要： 弱信号检测是生物芯片扫描仪的重要组成部分,也是生物芯片技术前进过程中面临的主要困难之一,特别是在高精度快速扫描中,其检测灵敏度及响应速度对整个扫描仪的性能将产生重大影响.在比较了几种常见信号...
  • 9. 应用于PHEMT器件的深亚微米T形栅光刻技术
    作者： 叶甜春 李兵 谢常青 陈大鹏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  39-42
    摘要： PHEMT器件和基于它的高频单片集成电路广泛应用于现代微波/毫米波系统.当PHEMT器件的栅长缩短到足够短的时候,沿着栅宽方向的寄生电阻会影响PHEMT器件的性能.为了解决这个问题,一种具有...
  • 10. 下一代光刻技术突破传统的光刻技术障碍
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  43-44
    摘要：
  • 11. 国内产业投资、技术进展与会议
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  43
    摘要：
  • 12. 国外纳米技术新突破
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  44
    摘要：
  • 13. 青岛科技大学纳米材料研究所
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  45-46
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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