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微纳电子技术2009年第9期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 随着45 nm和32 nm技术节点的来临,传统Si3N4作为电荷俘获存储器的俘获层已经使器件的性能受到了限制.指出采用高k材料代替Si3N4作为俘获层已成为目前微电子材料研究的热点和趋势;着...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术.通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOI Si片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶法,以二乙酰丙酮氧钒(VO(C5H7O2)2)为前驱物,通过提拉方式,在预镀非晶SiO2薄膜的硼硅玻璃上制备多晶纳米五氧化二钒(V2O5)薄膜.通过X射线衍射、傅里叶变换红外吸...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 在高纯半绝缘4H-SiC偏8°衬底上同质外延生长了高质量的外延层,利用X射线双晶衍射、原子力显微镜(AFM)、汞探针C-V以及霍尔效应等测试方法,对样品的结晶质量、表面粗糙度、掺杂浓度以及电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 基于声表面波技术近年来在微驱动技术领域快速发展的现状以及声表面波器件在生物、医疗、片上实验室等领域具有广阔应用前景的重要意义,就近几年来声表面波微驱动器的最新应用做了简要总结,介绍了声表面波...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力.驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成.首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 为了在平面微电机有限大尺寸的定子上制作大深宽比结构的绕组线圈,对大深宽比微结构的制作工艺进行了研究,综合比较各方面因素,从中找出了成品率高、可重复性好、工艺步骤简单的平面线圈的制作工艺,即在...
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9. 纳米楔形光纤探针的制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 基于挤压形变的原理,设计了一种用于制备楔形光纤探针的化学腐蚀简易装置.以普通的石英光纤为材料,通过改变自制夹具的松紧程度引起夹具在光纤上挤压力的变化,使光纤发生形变形成楔形,然后用适当比例的...
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10. 国际视点刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 以苯甲醚为溶剂,采用旋涂法制备PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)转移层膜.当PMMA的质量分数为5%、旋涂速度为2 000～6 000 r/min时,转移层膜的厚度为90～150 nm,粗糙度为0...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年9期页码:摘要： 针对铁电材料BST的电容在直流偏场下电性能随温度变化,设计了一种用来检测微小差分电容的电路.采用性能、形状较为一致的BST铁电陶瓷单元电容器配对结构,以电脉冲的方式读取不同温度下材料的充放电...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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