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微纳电子技术2012年第10期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 太阳电池是新能源领域一个不可忽视的领域.随着纳米技术的不断发展,纳米技术和太阳电池有了越来越多的结合点.综述了纳米结构阵列在太阳电池中的应用,其中包括光子晶体、纳米棒阵列、纳米孔阵列、纳米光...
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2. 金刚石电子器件的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 简述了金刚石半导体电气性质,即高击穿电场、宽带隙、高载流子饱和速度、高载流子迁移率和高热导率.回顾了金刚石器件的研究进程.讨论了器件的工作机理,包括掺杂和空穴积累层.详细描述了几种具有潜力的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 介绍了GaAs,InP和GaN等几种重要化合物半导体电子器件的特点、应用和发展前景.回顾了GaAs,InP和GaN材料的材料特性及其器件发展历程与现状.分别讨论了GaAs基HEMT由PHEM...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 利用磁控溅射方法制备了纳米Co/Cu多层膜.利用扫描探针显微镜(SPM)观测了其表面形貌和磁畴结构,并通过振动样品磁强计(VSM)测量了磁性.结果表明,薄膜的微结构和磁性随非磁性层厚度的变化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 利用超高真空磁控溅射方法制备了一系列不同C层厚度的C/FePt/Fe纳米薄膜,然后进行原位高温退火.应用X射线衍射仪(XRD)分析了样品的晶体结构,利用扫描探针显微镜(SPM)观测了表面形貌...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战.利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 根据微机电系统(MEMS)在承压能力与化学稳定性方面的要求,在国外文献的基础上配制得到一种作为Si-聚酰亚胺(PI)低温键合黏合剂的芳香类热固性共聚酯(ATSP).使用ATSP在不同条件下对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 传统微机械陀螺的扫频测试一般采用价格昂贵的通用测试仪,其存在测试成本高、效率低等缺点.设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的手持扫频测试仪,能够自动进行扫频测试并求取被测微机械陀螺的谐...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 简要论述了互连工艺中铜布线取代铝布线的必然趋势,以及铜布线片化学机械抛光(CMP)后进行清洗的必要性.在集成电路制造的过程中,漏电流的危害已经引起了广泛关注.在CMP过程中产生的三种主要表面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 研究了一种有效刻蚀聚酰亚胺(PI)的干法刻蚀方法,以金属铬为掩膜,刻蚀经涂胶并亚胺化而得到具有一定厚度的PI薄膜.利用反应离子刻蚀设备(RIE)将O2和CHF3按一定比例混合,适当调节刻蚀压...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 从大功率半导体激光器可靠性封装和应用考虑,利用商用有限元软件Abaqus与CFdesign对微通道热沉材料、结构进行优化设计,结合相应的制造工艺流程制备实用化复合型微通道热沉.微通道热沉尺寸...
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12. 磷化铟单晶片三步抛光技术研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 在磷化铟单晶片的抛光工艺中,将整个抛光过程分为粗抛、中抛以及精抛三个阶段,分别实现对磷化铟抛光片的总厚度变化、局部厚度变化以及表面粗糙度的控制.在粗抛阶段,采取压纹结构的抛光布、硅胶直径大的...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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