微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 崔焕卿 张明亮 汪志春 蔡理
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  541-545
    摘要: 量子元胞自动机(QCA)耦合功能阵列是一种二维的纳米尺度计算范式,可靠性较低的共面交叉线结构是QCA电路交叉互连时的薄弱环节.信号分布网络是实现交叉线功能的一种新方法,但面临元胞随机翻转干扰...
  • 作者: 吴郁 杨霏 查祎英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  546-550,585
    摘要: 针对高压快恢复二极管的动态雪崩问题进行了仿真分析,给出了典型的二极管动态雪崩瞬态图形,提出了一种改善器件动态雪崩耐量的新型扩展区结构,并进行了仿真验证.从有源区和终端区两方面研究了器件结构参...
  • 作者: 丁希宏 何海洋 刘海 吴云召 吴强 王志斌 白一鸣 辛雅焜 高征
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  551-558,575
    摘要: 金属纳米颗粒独特的光学性质,使其在薄膜太阳电池新型陷光结构应用方面极具前景.系统地介绍了金属纳米颗粒表面等离激元促进薄膜太阳电池光吸收机理,即光散射增强机理和局域场增强效应.在此基础上,概述...
  • 作者: 张文栋 李刚 李朋伟 桑胜波 程超群 胡杰 许成龙 郭兴军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  559-565,580
    摘要: 电容式RF MEMS开关是下一代高频通信领域中的关键部件.首先,介绍了电容式RFMEMS开关的结构、工作原理以及失效机理.介质充电是制约电容式RF MEMS开关长期可靠性的主要原因,介质膜中...
  • 作者: 李晨 洪应平 熊继军 王伟 葛冰儿 谭秋林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  566-569,591
    摘要: 针对所制备的微机械无线、无源压力传感器的特点,完成了压力传感器的测试与标定.提出了一种测试与标定方法.以压力控制器输出的压力信号为标准信号源,并利用阻抗分析仪测量传感器谐振频率,克服了传统测...
  • 作者: 吴大军 唐祺 杨姗姗 温殿忠
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  570-575
    摘要: 描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理,利采用Matlab 软件模拟了介电常数和湿度的关系,采用MEMS技术制造了新型湿度传感器,设计了测试方案,测量和分析了...
  • 作者: 施志贵 王旭光 郑英彬 陈颖慧 隆艳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  576-580
    摘要: 选取Ti/Au作为金属过渡层来实现低温硅-硅共晶键合.首先介绍了共晶键合的基本原理,分析了选择金-硅共晶键合的原因,设计了单面溅金、双面溅金以及不同温度下的硅-硅共晶键合实验.采用超声波显微...
  • 作者: 卢明辉 宋宝生 徐叶龙 戴明 林亮
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  581-585
    摘要: 图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义.研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移.首先,...
  • 作者: 刘玉岭 张宏远 李海龙 王辰伟 高娇娇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  586-591
    摘要: 在铜互连超大规模集成电路(ULSI)中,由于铜和钽的物理化学性质的差异造成两者的去除速率不同,导致布线晶圆表面抛光后出现碟形坑等缺陷.针对该问题,研究了盐酸胍(CH5N3·HCl)对Cu和T...
  • 作者: 刘超然 夏委委 李冬雪 李天昊 段智勇 汪浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  592-598
    摘要: 金属诱导横向晶化技术(MILC)由于具有晶化温度低、晶化颗粒大等优点而获得了快速发展.阐述了金属诱导横向晶化非晶硅薄膜的晶化机理、晶化效果及影响晶化效果的主要参数,并介绍了基于多种辅助措施,...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  598,608
    摘要:
  • 作者: 刘玉岭 曹哲 李海龙 王辰伟 蔡婷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  599-602
    摘要: 通过分析pH值对碱性抛光液抛光速率稳定性的影响,得出了碱性抛光液抛光速率相对稳定的pH值区间,并与酸性抛光液进行了对比,在酸性环境中至少稳定24 h,pH≤4时甚至可稳定6天.在碱性环境中p...
  • 作者: 张炳 杨修文 谭赟赟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  603-607
    摘要: 通过溶胶-凝胶法在ITO和玻璃表面制备了TiO2薄膜,从果实黑米中提取了天然色素作为敏化剂,将KI和I2与有机溶剂作为太阳电池的电解质,组装了染料敏化太阳电池(DSC).研究了薄膜厚度、烧结...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
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ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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