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微纳电子技术2017年第8期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 主要利用电致发光的实验手段,研究了极化效应对InGaN基LED器件发光特性的影响.实验中发现,InGaN基LED器件的峰位随注入电流的增加产生了先蓝移后红移的现象,蓝光和绿光LED分别蓝移3...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 聚硅氮烷作为旋涂介电层的基础材料,可通过旋涂法、特定条件下转化来制备SiO2介电层,工艺简单,介电层性能优异,有望克服传统化学气相沉积方法的缺点,在微电子领域具有重要的应用价值.系统总结分析...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 以喷墨打印制备的共轭有机小分子2,7-二辛基[1]苯并噻吩并[3,2-b]苯并噻吩(C8-BTBT)作为有机薄膜晶体管(OTFT)的有源层,分别采用紫外臭氧处理、旋涂聚(4-乙烯基苯酚)(P...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 研制了一种用于促黄体生成素(LH)检测的电化学免疫传感器,实现了促黄体生成素的高灵敏度和快速检测需求.采用纸基免疫传感器作为基底材料,氨基化石墨烯(NH2-G)/硫堇/纳米金复合物修饰的丝网...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 为了降低温度对MEMS陀螺仪测量的影响,提高自制惯性测量系统的测量精度,研究了三轴MEMS陀螺仪的零偏、比例因子、安装误差等参数受温度影响的特性,建立了带有温度参数的三轴MEMS陀螺仪误差模...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 在原子层沉积(ALD)的腔室内,采用直流辉光放电技术,以N2等离子体作为掺杂源制备了氮掺杂石墨烯,考察了电场方向和掺杂时间对石墨烯的掺杂特性影响.喇曼光谱和高分辨率X射线光电子能谱(XPS)...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 针对扫描电子显微镜(SEM)自动对焦技术对噪声敏感,计算量大,从而影响SEM自动对焦的准确性和实时性,提出一种基于SEM图像的自动对焦技术.该技术采用基于拉普拉斯高斯算子和局部方差相结合的对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 有机残余(主要是苯并三氮唑(BTA))和铜表面腐蚀是多层铜布线化学机械抛光(CMP)后晶圆缺陷中的两个重要问题,针对BTA去除和铜表面腐蚀抑制提出了一种新的碱性清洗剂.该清洗剂主要由FA/O...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 针对硅通孔(through-silicon via,TSV)背面通孔外露工艺复杂度与成本较高、易遗留工艺隐患的问题,提出一种改进的穿硅电容(through-silicon capacitor...
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10. 石墨烯湿法转移过程工艺优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 石墨烯的转移过程决定着石墨烯的品质,进而对石墨烯基器件的性能有重要的影响.针对化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯在湿法转移过程中存在的问题,在常规湿法转移的基础上进行了优化研究.实验结果表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 采用磁控溅射法在单晶硅基片上制备铝膜,并结合光刻技术将擒纵机构图形转移到铝膜.利用铝膜不与刻蚀气体反应的特性,将其取代光刻胶作为深度等离子体反应刻蚀制备擒纵机构时硅基片的掩蔽层,并且采用干氧...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 采用电沉积法制备的镀Ni超细孔径(5 nm)的多孔阳极氧化铝(PAA)薄膜系列,显示出鲜艳而多样的结构色.Ni沉积在超细孔径的多孔阳极氧化铝(UPAA)模板的表面上,形成了孔隙率很大的网状镀...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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