微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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16974
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  949-962
    摘要: 4 GFET MMIC 大面积的CVD和外延石墨烯材料以及RF GFET的进展为石墨烯单片集成电路(MMIC)的发展奠定了材料和器件基础,由于石墨烯器件具有特有的双极性能、高电子迁移率、二...
  • 作者: 林振钰 张志杰 李岩峰 刘佳琪
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  963-969,1004
    摘要: 综述了薄膜热电偶的国内外研究进展与热点,对近年来薄膜热电偶在各领域的典型应用结果进行了总结.重点阐述了薄膜热电偶的敏感材料种类、制备工艺对其热电性能和高温稳定性的影响,讨论了国内外研究中退火...
  • 作者: 余兆安 姚志宏 董大年
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  970-975
    摘要: 基于激光光谱法的甲烷检测技术因具有检测速度快、选择性强和检测灵敏度高等优点而被广泛研究.然而,该技术的性能受到激光器的调谐速率、系统光路、光电流采样率和驱动电流幅度等众多因素的影响.为提高甲...
  • 作者: 柏任流 甄德帅 吴大旺 文志刚 张悦红 张杰 罗小虎 童叶翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  976-981,991
    摘要: 通过水热法和焙烧法成功地在碳纤维(CF)上制备了纳米棒状的铁酸镍(NiFe2O4),采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、N2等温吸附/脱附测试和...
  • 作者: 曹泷 杨辉 吴学红 周振华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  982-991
    摘要: 综述了微纳结构沸腾表面的构建方法及强化性能最新研究进展,根据表面结构形式,将其分为纳米结构表面、微米结构表面、多孔表面和微/纳复合表面.纳米结构表面主要采用化学方法构建,可有效增强表面气泡成...
  • 作者: 朱静怡 丁馨 张晓渝 马锡英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  992-997,1027
    摘要: 采用热蒸发法在Si片上沉积稀土元素Er掺杂的WSe2薄膜,研究了Er3+掺杂对WSe2薄膜表面形貌、晶体结构、光致发光光谱、光吸收特性和电学特性的影响.研究发现薄膜在(004)晶面呈柱状择优...
  • 作者: 保慧琴 张健 李婧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  998-1004
    摘要: 基于V型电热执行器执行力大、输出位移小的特点,设计了单个V型电热执行器,对其温度分布和位移进行理论计算及ANSYS有限元分析,并利用柔性杠杆原理设计了具有位移放大结构的阵列式V型电热执行器,...
  • 作者: 王雅 谭秋林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1005-1011
    摘要: 采用导电聚苯胺/还原氧化石墨烯(PANI/RGO)纳米复合材料作为气体敏感层,通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)分析了敏感材料的表面形貌.并将这种复合纳米材料与近场通信(NFC)标签相...
  • 作者: 薛焱文 杨立伟 王冠亚 牛洁斌 刘宇 李海亮
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1012-1016,1022
    摘要: 为了获得大高宽比的硅纳米结构,结合电子束光刻和等离子刻蚀方法制备厚度为5 nm/20 nm的Ti/Au微纳结构,然后以氢氟酸、去离子水和双氧水作为腐蚀液,利用各向异性金属辅助化学腐蚀制备大高...
  • 作者: 孙墨杰 张行 闫静茹 张振业 高欣蓓 宋晓晨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1017-1022
    摘要: 以六氯化钨为钨源、无水乙醇为溶剂,在较低的溶剂热合成温度(100℃)下,制备出具有分级结构的WO3.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了产物的形貌及物相组成,发现WO3呈...
  • 作者: 陈少华 孙睿 黄晓炜 相文峰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1023-1027
    摘要: 以二水合氯化铜为铜源、氢氧化钠为碱源、水合肼为还原剂,采用液相还原法制备出了分散性好、形貌规则的纯相八面体氧化亚铜(Cu2O)颗粒.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射...
  • 作者: 田苗 张笛 瞿敏妮 毛海平 乌李瑛 孔路瑶
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1028-1032
    摘要: 当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,这一问题越来越影响到SU-8的应用.通过使用硬烘的方法来改善...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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