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微纳电子技术2021年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年7期页码:摘要： 采用火花放电法在去离子水中制备了表面洁净、粒度分布窄、平均粒径约为95 nm的纳米银颗粒,以其为导电材料配制纳米银导电油墨,将油墨旋涂在相纸基板上制成导电薄膜,分别在30、60、90、120...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年7期页码:摘要： 混合型多芯片组件(MCM-C/D)研制技术具有共烧陶瓷技术高密度多层互连集成和薄膜电路高精度和高可靠性等优点,是目前先进实用的混合集成技术.共烧多层基板的总厚度差(TTV)和表面粗糙度是影响...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 3 电阻型柔性压力传感器的应用 在压力检测应用中,基于检测原理将柔性压力传感器分为电阻式[158]、电容式[159-160]、压电式[161]和摩擦发电式[162-164].电容式传感器具...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 谷氨酰胺抑制剂(V9302)能够阻止癌细胞吸收必须的营养物质,从而抑制肿瘤的生长,且对正常细胞的影响较小,由此设计了一种基于荧光碳量子点(CD)负载抑制剂的给药体系,以荧光碳点为载体,抑制剂...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 采用固相反应烧结法合成了(K0.5Na0.5)NbO3-xBi(Co0.875Fe0.125)O3 (KNN-xBCF)多铁陶瓷,并且对其结构和光电磁等特性进行了系统的研究.结果 表明,随着...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 双金属纳米材料通过调节两种金属间的电荷转移、相互作用和表面元素分布来获得比单金属纳米材料更丰富的功能并增强其某些物理或化学效应,如催化效应.将铂(Pt)分别沉积在金纳米棒(AuNR)的两端和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量水听器.设计了一套能够将硅纤毛与二氧化硅悬臂梁相集成的工艺方案...
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98. 基于金刚石氮空位色心的矢量磁强计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 金刚石氮空位(NV)色心作为高灵敏度的磁强计被广泛应用于各种领域.针对矢量磁场探测问题,在理论上建立了NV色心矢量磁场探测的物理模型,并通过仿真得到了磁场与NV色心晶向的定量关系;实验中,自...
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99. 图像引导的微流控单细胞打印系统刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 传统流式细胞分离方式需要较大的细胞起始浓度,采用机械臂的单细胞分离方式成本高昂,使单细胞技术推广受限.设计并制作了一种集成阀门和动态流阻捕获结构的微流控芯片,可以进行单细胞捕获、鉴定及释放的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 摩擦纳米发电机(TENG)是一种基于摩擦起电和静电感应的新型绿色能源转化装置,能够将环境中各种形式的机械能转化为电能,TENG产生的电能可用于电化学防腐.制备了氧化石墨烯(GO)掺杂聚氯乙烯...
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101. MEMS粘片工艺应力抑制技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 粘片工艺过程中产生的热机械应力是微电子机械系统(MEMS)芯片的主要误差源之一.为了降低粘片工艺应力对MEMS芯片的影响,提高MEMS芯片的稳定性,开展了MEMS粘片工艺应力抑制技术的研究....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 采用水热法在表面镀镍的有序宏孔电极板(OMEP)的表面和侧壁制备了金属氧化物——CuCo2O4纳米片,获得一种微型且高效的活性电极材料.通过扫描电子显微镜(SEM)观察到,在OMEP上生长的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 对激活硅(Si)晶圆中高能注入磷(P)的激光退火方法展开研究.采用的P离子注入能量为4.8 MeV,在Si中的注入深度可达6μm.分别采用单绿激光(515 nm)、绿激光(515 nm)加红...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 采用静电纺丝法制备In2O3纳米纤维,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及BET比表面积分析仪对不同煅烧条件下得到的In2O3纳米纤维进行了表征分析,并对其进行了乙醇气敏...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年8期页码:摘要： 采用化学还原法制备银电极离子聚合物金属复合材料(IPMC)时,由于反应过程中银颗粒团聚,导致IPMC表面电极存在银纳米颗粒分布不均匀、表面有裂缝等问题,影响了IPMC致动性能.因此,提出了在...
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106. MEMS陀螺仪的研究现状与进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件.当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段.从微结构、电子学控制、工艺平...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 金属有机框架(MOF)具有高比表面积、结构丰富、孔道可调且含大量不饱和配位点等优点,但较差的导电性限制了其在电化学储能领域的应用.以溶剂热法的方式,通过调节N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中溶...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 聚合物基纳米复合材料具有高相对介电常数和良好机械性能,在柔性印刷电子领域应用广泛,广阔的市场需求也对其性能提出了越来越高的要求.采用原位聚合法制备了核壳结构的BaTiO3@PMMA复合材料,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 氧化铁(Fe2O3)导电性能差、可见光吸收范围窄、电子-空穴对复合速率过快等一系列问题极大限制了其在光催化领域的应用.通过简单的水热法,调控葡萄糖的添加量,合成不同碳含量的γ-Fe2O3@C...
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110. SiBCN高温薄膜温度传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 在氧化铝衬底上采用直写工艺制备SiBCN前驱体陶瓷薄膜温度传感器,通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)以及多通道数字采集仪对薄膜的形貌、结构及电学性能进行了...
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111. 电离式三电极碳纳米管乙炔传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 乙炔(C2H2)气体是变压器油中溶解的主要故障特征气体之一,乙炔气体检测是实现变压器故障在线监测的关键.现有的乙炔传感器存在灵敏度低、结构复杂等问题.采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺设...
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112. 基于摩擦纳米发电机的气体流量传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 气体流量是工农业生产及科学研究的重要控制参数,有必要进行实时测量.基于摩擦纳米发电机研制了一种具有自供电功能的气体流量传感器.传感器在气体流经时产生摩擦起电,从而输出与气体流量呈正比的摩擦电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 弹体在高速侵彻过程中的姿态偏转是影响其效能的重要因素,利用微电子机械系统(MEMS)陀螺仪进行姿态测量是监测弹体姿态变化的主要手段.针对侵彻弹体姿态测量对MEMS陀螺仪提出的抗高过载要求,采...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 基于介电润湿(EWOD)效应的数字微流控(DMF)系统能实现微升级别的多个液滴移动、分裂、合成等操作.针对目前基于EWOD的DMF系统液滴生成和分裂精度不高、效率低、难以精准控制的问题,在传...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 双金属氧化物因具有更多化合价态表现出比单金属氧化物更好的电化学性能,然而较差的导电性依然是限制其电化学性能的主要因素.选用泡沫镍为基底,首先利用水热法原位生长高比容量的MnMoO4·H2O纳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 提出一种基于针状铜基微纳米材料的低温固态焊接方法.采用化学镀法制备出一种表面针状铜基微纳米阵列结构,铜针阵列高度为1～3 μm,根直径为1～2 μm.将锡基焊料置于具有这种形貌的基板上,在加...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 通过开展双面机械抛光分组实验,探讨工艺参数对碳化硅(SiC)衬底总厚度变化(TTV)和材料去除率的影响.研究结果表明,设备转速越高、载荷压力越大,材料去除率越高;SiC衬底TTV随载荷压力与...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年9期页码:摘要： 基于正交实验研究了抛光压力、相对转速、抛光液体积流量和表面活性剂体积分数四个因素对抛光速率一致性的影响,采用方差分析确定各因素对抛光速率一致性的显著影响.研究结果表明:各因素对抛光速率一致性...
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119. MEMS陀螺仪的研究现状与进展(续)刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年10期页码:摘要： 3 MEMS陀螺仪的工艺 基于MEMS陀螺仪和其他陀螺解决方案(例如光纤陀螺、环形激光陀螺、半球谐振陀螺和石英陀螺仪)相比具有了许多关键的优势:低成本、非常小的形成因子、轻量级、在严酷环境...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年10期页码:摘要： 对微马达的概念进行了简单叙述,并选择近年来发展迅速的镁基微马达展开详细介绍.重点围绕镁基微马达的推进机理和其在环境科学及生物医疗的应用进行阐述,从易于控制反应速率及良好生物相容性的角度出发,...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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