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刊名：自动化与仪表

发表时间：2012-03-01

摘要:

扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值.文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1％FS以下.

扩散硅压力传感器温度非线性误差补偿满量程

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2.【期刊】扩散硅压力传感器的迟滞建模与智能补偿

作者：严斌党选举杨俊

刊名：科技与创新

发表时间：2008-01-01

摘要:

针对扩散硅压力传感器表现出非常规非平滑的强非线性迟滞特性,利用提升空间维数的方法,提出一个结构简单的迟滞逆算子,将迟滞非线性的多值映射转换成一一映射,建立T-S模糊模型逼近的迟滞逆模型,并实现对迟滞环的智能补偿.仿真结果表明,该模型用于迟滞特性建模是有效的,并具有较高的补偿精度.

扩散硅压力传感器迟滞 T-S模型逆模型逆算子

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3.【期刊】基于同步监测的锚杆受力监测系统设计

作者：彭跃金李青锋邓弘哲谷洪飞黄启云

刊名：工矿自动化

发表时间：2019-05-01

摘要:

针对现有锚杆受力监测方法存在的结构复杂、测点单一、安装不便等问题,设计了基于同步监测的锚杆受力监测系统.该系统选用扩散硅压力传感器采集巷道某一断面的锚杆轴向力,可同时获取8根锚杆的受力数据;将采集的数据进行分压滤波、AD转换后,存储并传输.实验结果表明,该系统实现了对巷道桌一断面多根锚杆、锚索的高采样率同步监测,测量精度可以满足断面锚杆受力同步监测的要求.

锚杆支护锚杆受力监测同步监测扩散硅压力传感器分压滤波

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4.【期刊】传感器在测量空气比热容比实验中的应用

作者：刘爱华

刊名：实验科学与技术

发表时间：2004-04-01

摘要:

介绍了用新方法在测量空气比热容比实验中用到的两种传感器--扩散硅压力传感器和集成温度传感器的基本原理,推导了被测压强与电压的线性关系及被测温度与电流的线性关系.

比热容比扩散硅压力传感器应变片集成温度传感器晶体管

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5.【期刊】扩散硅压力传感器长期稳定性提升试验方法研究

作者：刘帅杜晓辉朱敏杰刘丹任福琴

刊名：传感技术学报

发表时间：2020-01-01

摘要:

扩散硅压力传感器结构简单、集成度高、批量制造兼容性强,是目前MEMS领域研究最多的传感器类型,该类传感器面向航空航天等高端应用的最大技术瓶颈是封装后的传感器长期稳定性,因此相关长期稳定性提升技术已成为学术界和产业界广泛关注的共性关键技术.采用控制变量法和正交试验法,对比评价了疲劳脉动、冷热循环和振动时效三种常用长期稳定性提升技术对扩散硅压力传感器的作用效果.对比试验结果表明,三种技术均可改善扩散硅压力传感器的长期稳定性,且存在较优的环境应力参数组合,使传感器稳定性较试验前提升90％以上.本文的研究成果对各类硅压力传感器的长期稳定性提升具有较好的借鉴意义.

微机电系统长期稳定性正交试验扩散硅压力传感器环境应力

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6.【期刊】扩散硅压力式密度测量系统

作者：李平党选举陈辉

刊名：桂林电子工业学院学报

发表时间：1999-02-01

摘要:

化工过程中的成分测量是非电量测量中的难点.通过对扩散硅压力式传感器的二次开发应用,结合单片机系统对微弱信号进行处理后,实现密度的静态测量,并取得了较好的效果,为工业过程密度动态测量提供一种新的方法.

非电量测量扩散硅压力传感器密度单片机压力

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7.【期刊】多点压力实时监测系统的研制

作者：邵进魁徐振高

刊名：机械与电子

发表时间：2004-11-01

摘要:

按照虚拟仪器的设计方法,提出并研制了一种多点压力实时监测系统.系统由扩散硅压力传感器组、信号处理电路、数据采集卡和计算机等硬件组成,在软件的支持下,能以形象直观的方式显示多点压力值并及时给出异常报警.实验证明此系统构建简单,性能稳定,运行可靠.

压力测量实时监测扩散硅压力传感器虚拟仪器

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