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半导体工艺新发展概述
半导体工艺
应变硅
栅介质
铜互连
SiC半导体材料和工艺的发展状况
碳化硅器件
器件工艺
半导体材料
半导体及集成电路工艺加工设备的调研与采购
调研与采购
需求
设备费用
技术能力
服务与技术支持
商务模式
采购规格书
半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 半导体工艺设备发展特点
来源期刊 LSI制造与测试 学科 工学
关键词 半导体 工艺 设备
年,卷(期) 1989,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 20-26
页数 7页 分类号 TN305
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
半导体
工艺
设备
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
双月刊
31-1459/TN
上海江西中路450号
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
0
总被引数(次)
0
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