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圆光栅
角度测量
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光栅
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漂移
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校正
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文献信息
篇名 圆光栅直径误差检测中信号的处理方法
来源期刊 光学工程 学科 工学
关键词 圆光栅 直径误差 检测 信号处理理
年,卷(期) 1989,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 44-50
页数 7页 分类号 TH741.603
字数 语种 中文
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圆光栅
直径误差
检测
信号处理理
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光学工程
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