同心圆光栅二自由度误差测量系统

• 作者: 朱建忠 李圣怡 李宁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 同心圆光栅 莫尔条纹 图像处理 CCD 二 自由度误差测量
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 91-95
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.01.023

摘要

提出了一种基于同心圆光栅莫尔条纹图象处理的超精密二自由度误差测量 （TDFM）方法，介绍了该测量方法的基本原理，包括同心圆光栅莫尔条纹产生机理、三光栅光学系统 原理、影像光学原理以及CCD莫尔条纹图象处理的方法。通过实验对实际测量系统进行了分析与标 定，并将测量结果与双频激光干涉仪进行了比较。结果表明该测量方法可实现超精密二自由度的 误差在线测量及补偿，测量精度优于0.1μm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宁	国防科技大学机电工程及自动化学院	8	64	4.0	8.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程及自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	朱建忠	国防科技大学机电工程及自动化学院	3	102	3.0	3.0