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摘要:
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精密超精密加工及现代精密测量技术
精密和超精密加工
微/纳米级精密测量技术
误差建模
补偿技术
超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题
超精密
测量
仪器
内尺度
三维轮廓
基准
微驱动
精密加工和超精密加工的研究与对策
精密加工
超精密加工
先进制造技术
分析
对策
超精密环境温度控制及温度测量技术研究
超精密加工
环境温度
温度传感器
控制系统
气喷淋
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 超精密激光测量技术的现状和课题
来源期刊 光机情报 学科 工学
关键词 激光 测量技术
年,卷(期) gjqb_1990,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24-25
页数 2页 分类号 TH744.5
字数 语种 中文
DOI
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
激光
测量技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
光机情报
月刊
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370
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