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文献信息
| 篇名 | 硬涂层的等离子体沉积技术的发展 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 氮化钛 涂层 沉积 等离子体应用 | ||
| 年，卷（期） | gwhjb_1991,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 65-72 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TG174.442 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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氮化钛
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