真空微电子学的进展

彭自安; 陈其略

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真空微电子学的进展

作者：

彭自安陈其略

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真空电子学

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篇名	真空微电子学的进展
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	真空电子学微电子学
年，卷（期）	1991,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	1-8
页数	8页	分类号	TN4
字数		语种
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