从真空微电子学到真空纳电子学

• 作者: 冯进军
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子学 真空纳米电子学
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 958-962
• 页数: 5页
• 分类号: TN101
• 字数: 5442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.04.068

摘要

微细加工技术和场发射作为电子源促成了真空微电子学的诞生,许多从事微细加工技术、真空电子技术、微波电子学、材料科学、表面科学、薄膜科学等领域的研究人员也开始了这方面的研究工作,1988年在美国召开了第一届国际真空微电子学会议(IVMC),随后每年一届在世界各地轮流召开.科学技术的发展非常之快,纳米结构、纳米加工技术、纳米材料等也渗透到这个领域,真空微电子学的研究领域也随之扩展,所以2004年在美国召开的第17届国际真空微电子学会议改名为国际真空纳电子学会议(IVNC).本文就真空微电子学的发展历史,该领域的技术发展做了综述和分析,对目前真空纳电子学的兴起、研究内容的变化做了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军	中国电子科技集团公司第12研究所大功率微波电真空器件技术国家级重点实验室	34	163	6.0	11.0