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集成光化学蒸汽微型传感器
集成光化学蒸汽微型传感器
作者:
刘同喜
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传感器
微型
化学蒸汽
集成光波导
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文献信息
篇名
集成光化学蒸汽微型传感器
来源期刊
上海半导体
学科
工学
关键词
传感器
微型
化学蒸汽
集成光波导
年,卷(期)
1992,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
49-52
页数
4页
分类号
TN256
字数
语种
DOI
五维指标
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引文网络
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微型
化学蒸汽
集成光波导
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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