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物理气相沉积硬镀层的先进概念
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文献信息
| 篇名 | 物理气相沉积硬镀层的先进概念 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 硬镀层 固溶体 镀覆 磁控管 溅射 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 67-71 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TG174.44 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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硬镀层
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