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基于投影的X射线光栅相衬成像系统的仿真模拟
X射线
光栅相衬成像
计算机数值仿真
线性系统
软X射线投影光刻原理装置的设计
软X射线投影光刻
多层膜反射镜
软X射线投影光刻原理装置
激光等离子体光源
图像重建中X射线投影模拟方法研究
图像重建
投影
模拟
插值
离散
软X射线投影光刻技术
软X射线
投影光刻
集成电路
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 X射线投影光刻系统设计研究
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 微电子学 X射线光刻 光刻系统 设计
年,卷(期) 1993,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-24
页数 8页 分类号 TN405.7
字数 语种 中文
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1993(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微电子学
X射线光刻
光刻系统
设计
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
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