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应用激光光杠杆式原子力显微镜研究光学及超光滑表面微轮廓
光学表面微轮廓
原子力显微镜
纳米技术
光学计量测试
立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试
ICF靶丸
AFM
表面轮廓仪
立式轴系结构
测量精度
表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响
光洁度测量
超光滑表面
传递函数
线性系统
关于光学表面微观轮廓粗糙度标准的探讨
超光滑光学表面
亚纳米
表面粗糙度
计量标准
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 光学滑板式超光滑表面轮廓仪
来源期刊 国外计量 学科 工学
关键词 测量 轮廓仪 表面粗糙度
年,卷(期) 1993,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24-27
页数 4页 分类号 TG84
字数 语种
DOI
五维指标
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1993(0)
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研究主题发展历程
节点文献
测量
轮廓仪
表面粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外计量
双月刊
1002-5642
11-1987/T
北京市安外和平里11区7号国家技术监督局
出版文献量(篇)
602
总下载数(次)
1
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0
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