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耐高温微型压力传感器设计
压力传感器
SOI芯片
梁膜结构
耐高温
MEMS压力传感器电容读出电路
MEMS压力传感器
高精度
电容数字转换器
仿真
SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现
硅氧化物绝缘体
宽温区
压力传感器
工艺研究
结构性能
浅析高温压力传感器的发展
高温压力传感器
半导体材料
多晶硅
光纤技术
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微型拉压力传感器及其测量电路
来源期刊 电子与仪表 学科 工学
关键词 微型 力传感器 测量电路 拉压力传感器
年,卷(期) 1994,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 34-35
页数 2页 分类号 TP212
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DOI
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微型
力传感器
测量电路
拉压力传感器
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子与仪表
双月刊
31-1446/TN
出版文献量(篇)
1004
总下载数(次)
5
总被引数(次)
0
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