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摘要:
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微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
微电子机械加工技术
氮化硅梁
谐振式压力传感器
基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现
硅谐振压力传感器
大气数据系统
计算机
多压力传感器中自调谐整流和谐振自调的零点漂移消除
多压力传感器
零点漂移
自调谐
谐振
浅析高温压力传感器的发展
高温压力传感器
半导体材料
多晶硅
光纤技术
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 谐振式压力传感器
来源期刊 国外科技资料 学科 工学
关键词 传感器 压力传感器 谐振荡
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 51-53
页数 3页 分类号 TP212
字数 语种
DOI
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
传感器
压力传感器
谐振荡
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外核武器研究
季刊
四川省绵阳市919信箱803分箱
出版文献量(篇)
416
总下载数(次)
1
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