亚微米BiCMOS工艺技术

• 作者: 何小乐 洛斯
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 亚微米 铋 CMOS 工艺技术 双极晶体管
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TN322.803

摘要

ＢｉＣＭＯＳ是双极速度和驱动能力与ＣＭＯＳ的高密度和低功耗的结合。考虑到功耗原因，ＢｉＣＭＯＳ器件主要以ＣＭＯＳ为主，因此，双极器件通常并入ＣＭＯＳ核心工艺流程。当器件尺寸减小时，双极和ＣＭＯＳ的技术显得愈发相似。本文列举了０．８μｍ和０．５μｍ的技术论点。ＢｉＣＯＳ电路与ＣＭＯＳ相比，成本稍高但其性能提高一倍。