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文献信息
篇名 微波等离子体阴极离子源
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 微波等离子体 离子源 阴极
年,卷(期) 1995,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-2
页数 2页 分类号 O531
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离子源
阴极
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