论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 航天出国考察技术报告期刊 \
美国的几种微电子工艺设备
推荐文章
溶剂回收工艺设备的改进设计
溶剂
回收
浸出车间
冷凝器
尾气
冷却塔
改进设计
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
地铁车辆场段工艺设备检修管理影响因素研究
地铁车辆场段
工艺设备
检修管理
优化措施
酱油制曲关键工艺设备优化
酱油
制曲工艺
进风口
连接管
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 美国的几种微电子工艺设备 | ||
| 来源期刊 | 航天出国考察技术报告 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 工艺设备 混合 集成电路 薄膜 美国 微电子 | ||
| 年，卷（期） | 1996,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 96-100 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN405 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1996(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
工艺设备
混合
集成电路
薄膜
美国
微电子
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
航天出国考察技术报告
主办单位：
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市1408信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
428
总下载数（次）
2
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
