MCZ硅的氧碳含量及电阻率均匀性

• 作者: 卢宁 黄永谦
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: MCZ 硅 氧含量 碳含量 电阻率 均匀性
• 年，卷（期）: 1996,（1）
• 页码范围: 4-8
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.12

摘要

在国产ＴＤＲ－５０ＡＣ单晶炉中使用外加磁场生长φ１００ｍｍＰ型单晶硅锭，利用扩展电阻探针技术及红外光谱术研究其Ｏ，Ｃ含量及电阻率均匀性随磁场强度的变化。