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低能强流离子束装置计算机控制系统
低能强流离子束系统
计算机控制
连锁保护
脉冲离子束流聚焦装置的研制
脉冲离子束流
限束
透镜
聚焦
纳米聚焦离子束系统液态金属离子源的研制
聚焦离子束
液态金属离子源
发射尖
腐蚀
聚焦离子束写入技术对MEMS失效构件的修复
聚焦离子束
失效
MEMS构件
可靠性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 聚焦离子束装置现状
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 聚焦离子束 等离子体源
年,卷(期) 1996,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-11
页数 3页 分类号 O531
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
聚焦离子束
等离子体源
研究起点
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等离子体应用技术快报
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