四探针测试技术中边缘修正的有关方法

• 作者: 孙以材 石俊生
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针 薄层电阻 边缘修正 有限元法 集成电路
• 年，卷（期）: 1997,（1）
• 页码范围: 35-42
• 页数: 8页
• 分类号: TN407

摘要

本文对四探针测试半导体薄层电阻关于边缘修正计算的各种理论及方法做了总结,重点描述了一种有限元法(FEM)。这种方法对任意形状的样品和任意放置探针具有同样简单和计算通用的特点,特别是对微区测试方法的改进以及确定好的微区测试结构提供了理论依据。更多还原

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学电子工程系	117	1247	18.0	31.0
2	石俊生	云南师范大学物理系	58	491	14.0	19.0