亚微米微位移工作台升降模糊控制系统

• 作者: 周兆英 李庆祥 王云庆
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 台阶测量 工作台 模糊控制 触针测量力
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 47-50
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.1998.02.013

摘要

对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键.本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统,它具有亚微米级的运动精度,保证了工作台升降快速、准确,运行平稳,对触针无冲击.在台阶高度测量中,应根据被测样品材料选择适当的测量力,该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的.实验表明:工作台上升时间仅10 s左右,测量力设定误差小于6 μN.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
3	王云庆	清华大学精密仪器与机械学系	4	27	2.0	4.0