显微物镜数字剪切波面像差评价仪

• 作者: 刘承 杨国光 白剑 程上彝
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 剪切波面 有限元
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 285-288
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.1998.03.012

摘要

本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ/20.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白剑	浙江大学光学仪器国家重点实验室	70	605	15.0	21.0
2	杨国光	浙江大学光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
3	刘承	浙江大学光学仪器国家重点实验室	42	268	10.0	14.0
4	程上彝	浙江大学光学仪器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0