镶嵌在SiiO2薄膜中的纳米InSb颗粒的制备

• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 二氧化硅薄膜 锑化铟 纳米颗粒
• 年，卷（期）: 1998,（13）
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.23
• 语种: 中文

摘要

用射频磁控测射的方法制备了镶嵌在SIO2薄膜中的纳米INSB颗粒.透射电子显微镜观察表明,纳米INSB颗粒均匀地镶嵌在SIO2介质中.通过控制热处理的条件,可以得到具有不同颗粒尺寸的INSB纳米颗粒.INSB颗粒的尺寸与热处理温度和时间成正比,但是并不满足T＾1/3的关系.另外,还通过X射线衍射以及X射线光电子有谱对INSB－SIO2复合薄膜的结构和成分进行了分析.