溶胶-凝胶法制备Ge/SiO2微晶复合薄膜

• 作者: 姚熹 张良莹 杨合情 翟继卫
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: Sol-Gel H2还原 Ge微晶 吸收谱
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 14-16
• 分类号: TQ027.3|TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.1999.04.004

摘要

采用Sol-gel方法制备了GeO2-SiO2复合薄膜,并用H2/N2还原使得GeO2转变成G e微晶而镶嵌在SiO2的玻璃网格中,其平均晶粒尺寸小于4nm.随着热处理时间的增加,240nm处吸收峰的强度随之增大,并且其吸收边产生红移,说明Ge微晶的含量及晶粒尺寸都在增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张良莹	西安交通大学电子材料研究室	59	646	15.0	22.0
2	姚熹	西安交通大学电子材料研究室	172	1611	18.0	30.0
3	翟继卫	西安交通大学电子材料研究室	4	58	4.0	4.0
4	杨合情	西安交通大学电子材料研究室	8	59	4.0	7.0