用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究

• 作者: 张志强 林更琪 邱进军 陈善宝
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 软磁薄膜 磁控溅射 磁场定向 高频磁阻抗效应
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TM271.2
• 字数: 3484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.1999.01.012

摘要

讨论了用于高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理.用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19 软磁薄膜,并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林更琪	华中理工大学电子科学与技术系	3	7	2.0	2.0
2	邱进军	华中理工大学电子科学与技术系	5	3	1.0	1.0
3	陈善宝	华中理工大学电子科学与技术系	1	2	1.0	1.0
4	张志强	华中理工大学电子科学与技术系	1	2	1.0	1.0