GaAs太阳电池帽层腐蚀研究--GaAs/AlGaAs薄膜体系的选择性腐蚀

• 作者: 公延宁 夏冠群 汪乐 莫金玑
• 来源期刊: 太阳能学报
• 关键词: GaAs太阳电池 p+-GaAs帽层 p-AlGaAs窗口层 选择性腐蚀
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 109-115
• 页数: 7页
• 字数: 4956字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.1999.02.001

摘要

由p+-GaAs帽层和p-AlxGa1-xAs(x=0@8-0.9)窗口层构成的异质薄膜体系是GaAs太阳电池器件中的常规结构.对该异质结构的只腐蚀GaAs而不腐蚀AlGaAs的选择性腐蚀工艺是GaAs太阳电池制备过程中的一道关键工序.针对传统腐蚀工艺中出现的腐蚀后露出的AlGaAs表面呈现彩色的问题,从改进腐蚀液配方角度,围绕通常采用的氨水-双氧水(NH4OH-H2O2)腐蚀液体系,对该问题作了深入细致的专门研究,并与柠檬酸-双氧水(C6H8O7-H2O2)和柠檬酸-柠檬酸钾-双氧水(C6H8O7-K3C6H5O7-H2O2)腐蚀液体系作对比,最终得到了较满意的氨水-双氧水-磷酸(NH4OH-H2O2-H3PO4)新腐蚀液体系.这种腐蚀液体系不仅可在较宽的溶液浓度范围内实现对高Al组分GaAs/AlGaAs异质结构的选择性腐蚀,而且也不会对露出的AlGaAs外观产生明显影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏冠群	中国科学院上海冶金研究所	61	307	9.0	16.0
2	汪乐	中国科学院上海冶金研究所	4	18	3.0	4.0
3	公延宁	中国科学院上海冶金研究所	3	22	2.0	3.0
4	莫金玑	中国科学院上海冶金研究所	2	8	1.0	2.0