多层金属膜厚度的无损测量研究

• 作者: 梁鸿生
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属膜厚度 无损测量 电涡流
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TH82
• 字数: 2389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.1999.04.004

摘要

提出一种用电涡流传感器实现无损在线测量工件金属膜厚度的方法.给电涡流传感器同时施加3种不同频率的激励信号,通过传感器与各层金属膜所感应的电涡流密度,可以间接获得2层不同材料的金属膜厚度,同时还可获得传感器与表层被测工件表面的距离.理论分析和实验结果表明了这种方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁鸿生	西安理工大学自动化与信息工程学院	20	135	6.0	11.0